用于0.8微米工艺的高度超纯水系统

该文介绍该单位为0.8微米成套工艺预研而设计、改造的高度超纯水系统的流程及特点。该系统已经过实践的考验,达到设计要求,并在完成0.8微米成套工艺的预研中发挥了作用。

半导体工艺冷却水热能回用

通过对半导体工艺冷却水系统和超纯水系统实际运行工况的研究,突破厂务运行技术的思维瓶颈,提出了工艺冷却水热能回用与超纯水系统热源需求的跨越式联系,在保证系统稳定的同时,大幅提高运行经济性.

浅析某微电子产业园制造厂房超纯水处理系统案例

随着科技的进步,半导体芯片制造业得以快速发展,但由于其制造工艺的精密性和复杂性,对工艺中所用水质要求极高.以青岛微电子产业园制造厂房为例,介绍了一种超纯水制造工艺,并对现状提出了维护措施和成本分析.经实际运行测试,该系统制备的超纯水稳定优质,节水节能效率高,保障了工艺生产所需,为同类型工业厂房纯水系统提供了参考.

国产反渗透-离子交换超纯水系统建成

超纯水是电子,半导体,高纯材料,生物工程,光导纤维,高能物理,微量分析等部门不可缺少的基础材料之一.反渗透-离子交换工艺是目前世界上先进而经济的纯水制造工艺.国家海洋局杭州水处理技术开发中心,于1985年开始进行"百吨级反渗透-离子交换超纯水系统"的研制.在电子机械部十院,浙江无线电厂,湖州水处理设备厂等单位合作与支持下,于1988年12月建成一套10m~3/h超纯水系统,并于12月28日通过国家海洋局科

某半导体超纯水制备系统工艺介绍和造价分析

针对某半导体行业超纯水制备系统水量,水质要求,设计采用"前处理系统→MAKE UP系统→抛光系统"工艺路线,详细介绍了工艺流程,设备配置及材料部分造价情况,可供类似项目参考.

半导体行业研磨废水回用为超纯水的处理系统

本实用新型公开了半导体行业研磨废水回用为超纯水的处理系统,它包括彼此之间通过连接管路依次串联相连的研磨废水水箱,膜生物反应器,离子交换系统,清水箱,超滤系统,紫外线消毒系统,一级反渗透系统,脱气装置,二级反渗透系统,中间水箱,连续电去离子系统和产水箱,离子交换系统连接有再生系统,膜生物反应器的清水出水口通过出水管线与清水箱的进水口相连,二级反渗透系统的浓水出口通过第二浓水管路与超滤系统的进水口相连,中间水箱的进水口通过中间水管路与脱气装置的出水口相连.采用本系统可得到电阻高达18MOhm-cm以上的高品质纯水.该套系统整体回收率高达75%,整体投资成本较低.